WF6 ప్రధానంగా ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో మెటల్ టంగ్‌స్టన్ యొక్క రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియకు ముడి పదార్థంగా ఉపయోగించబడుతుంది. WF6 నుండి తయారు చేయబడిన WSi2 ను పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌లలో (LSI) వైరింగ్ పదార్థంగా ఉపయోగించవచ్చు మరియు సెమీకండక్టర్ ఎలక్ట్రోడ్‌లకు ముడి పదార్థంగా, రసాయన ఏజెంట్ల కోసం ఫ్లోరిన్ ముడి పదార్థాలు, పాలిమరైజేషన్ ఉత్ప్రేరకాలు, ఆప్టికల్ పదార్థాలు మొదలైన వాటికి కూడా ఉపయోగించవచ్చు.